Возврат
Из первых рук

15 сентября 2004 г.


Lucent Technologies получила заказ от DARPA на разработку новой микросистемы проекционной фотолитографии


15 сентября ("Телеком-Форум"). Lucent Technologies получила заказ от Агентства перспективных оборонных исследовательских проектов DARPA на разработку новой микросистемы проекционной фотолитографии, которая сократит цикл производства интегральных схем и повысит его экономичность. Система строится на пространственных модуляторах света на базе микроэлектромеханических систем (MEMS SLM). Контракт, рассчитанный на 4 года, стоит 9,5 млн. долл. Результаты работы предполагается использовать в системах обеспечения национальной безопасности США и военной трансформационной связи.

В основе разработки лежит созданная в Лабораториях Белла технология MEMS SLM. В новой системе будет на порядок увеличено количество микрозеркал, а сами зеркала уменьшатся в 5 раз при увеличении в 10 раз скорости их поворота. Новая технология позволит создавать элементы микросхем размером 50 нм и в 10-50 раз ускорить их производство.

Lucent Technologies

Тел.: (812) 329 85 02

E-mail: eshugal@lucent.com

http://www.lucent.ru